S neox objective detail (3)

ALL IN ONE

集共聚焦、白光幹涉、相位差幹涉、多焦面疊加于一體

共聚焦

共聚焦技術可以用來測量各類樣品表面的形貌。它比光學顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達0.14um。利用它可實現臨界尺寸的測量。當用150倍、0.95數值孔徑的鏡頭時,共聚焦在光滑表面測量斜率達70°(粗糙表面達86°)。專利的共聚焦算法保證Z軸測量重複性在納米級别。

幹涉

相位差幹涉是一種亞納米級精度的 用于測量光滑表面高度形 貌的技術。它的優勢在于 任何放大倍數都可以保證 亞納米級的縱向分辨率。 使用2.5倍的鏡頭就能實現 超高縱向分辨率的大視場 測量。
白光幹涉是一種納米級測量精度的用 于測量各種表面高度形貌 的技術。它的優勢在于任 何放大倍數都可以保證納米級的縱向分辨率。

多焦面疊加

多焦面疊加技術是用來測 量非常粗糙的表面形貌。 根據Sensofar在共聚焦和幹 涉技術融合應用方面的豐 富經驗,特别設計了此功 能來補足低倍共聚焦測量 的需要。該技術的最大亮 點是快速(mm/s)、掃描範圍 大和支援斜率大(最大86° )。此功能對工件和模具 測量特别有用。
您還可以添加圖标,按鈕,圖片等常用元素。
S neox application (2)
S neox application (1)
S-NEOX
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S neox objective detail (3)

高精度

最高0.01nm高度分辨率

大視野

單視野最大7*5mm

超高速

3秒/視野

多方式

共聚焦、幹涉、多焦面疊加

可編程

根據需要定義測量方案

多權限

可設置不同操作權限

定制化

可根據需求定制自動輸出方案

易操作

模闆化操作,避免人為誤差